Roterande mål av metall
Produktbeskrivning
Roterande mål i metall
Ortogonala magnetiska och elektriska fält appliceras mellan sputtermålet (katoden) och anoden.Och fyll den nödvändiga inerta gasen (vanligtvis Ar-gas) i högvakuumkammaren.Under inverkan av ett elektriskt fält joniseras Ar-gas till positiva joner och elektroner.En viss negativ högspänning appliceras på målet, elektronerna som emitteras av målet påverkas av magnetfältet, joniseringssannolikheten för arbetsgasen ökar, en högdensitetsplasma bildas nära katoden och Ar-jonerna påverkas av Lorentzstyrkan.Accelerera sedan för att flyga till målytan och bombardera målytan med hög hastighet, så att de förstoftade atomerna på målet följer principen för momentumomvandling, flyger från målytan till substratet och avsätter en film med hög kinetisk energi.
För att ytterligare förbättra utnyttjandegraden av målmaterialet utformas en roterande katod med högre användningseffektivitet, och ett rörformigt målmaterial används för sputtringsbeläggning.Förbättringen av förstoftningsutrustning kräver att målet ändras från en platt form till en rörform, och utnyttjandegraden av det rörformiga roterande målet kan vara så hög som 70 %, vilket till stor del löser problemet med lågt utnyttjande av det platta målet.
| Produktens namn | Roterande mål av metall |
| Material | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Het försäljningsstorlek | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Kan också bearbetas enligt kundernas specifika krav |
| MOQ | 3 bitar |
| Paket | Ply träfodral |
Obs: Vi producerar huvudsakligen olika metallmål, kontakta oss för detaljer.
Ansökan
Sputtering beläggning är en ny typ av fysisk ångbeläggningsmetod.Jämfört med förångningsbeläggningsmetoden har den uppenbara fördelar
i många aspekter.Metallsputtermål har använts inom många områden.Den huvudsakliga tillämpningen av roterande mål.
■Solceller
■Arkitektoniskt glas
■Bilglas
■Halvledare
■Platt-TV osv
Beställningsinformation
Förfrågningar och beställningar bör innehålla följande information:
☑Målspecifikation ID×OD×L (mm).
☑Önskat antal.
☑Kontakta oss för mer speciella behov.
