Hur fungerar Magnetron Sputtering?
Magnetronförstoftning är en fysikalisk ångavsättningsmetod (PVD), en klass av vakuumavsättningsprocesser för framställning av tunna filmer och beläggningar.
Namnet "magnetronförstoftning" kommer från användningen av magnetfält för att kontrollera de laddade jonpartiklarnas beteende i magnetronförstoftningsprocessen.Processen kräver en högvakuumkammare för att skapa en lågtrycksmiljö för sputtering.Gasen som utgör plasman, typiskt argongas, kommer in i kammaren först.
En hög negativ spänning appliceras mellan katoden och anoden för att initiera joniseringen av den inerta gasen.Positiva argonjoner från plasman kolliderar med det negativt laddade målmaterialet.Varje kollision av högenergipartiklar kan få atomer från målytan att stöta ut i vakuummiljön och driva på ytan av substratet.
Ett starkt magnetfält ger hög plasmadensitet genom att begränsa elektronerna nära målytan, vilket ökar avsättningshastigheten och förhindrar skador på substratet från jonbombardement.De flesta material kan fungera som ett mål för förstoftningsprocessen eftersom magnetronförstoftningssystemet inte kräver smältning eller förångning av källmaterialet.
Produktparametrar
Produktens namn | Rent titanmål |
Kvalitet | Gr1 |
Renhet | Mer 99,7% |
Densitet | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 delar |
Het försäljningsstorlek | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Ansökan | Beläggning för PVD-maskin |
Lagerstorlek | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Andra tillgängliga mål | Molybden (Mo) Chrome(Cr) TiAl Koppar(Cu) Zirkonium(Zr) |
Ansökan
■Beläggning av integrerade kretsar.
■Ytpanelsskärmar av platta paneler och andra komponenter.
■Dekoration och glasbeläggning m.m.
Vilka produkter kan vi producera
■Platt mål i titan med hög renhet (99,9 %, 99,95 %, 99,99 %)
■Standardgängad anslutning för enkel installation (M90, M80)
■Oberoende produktion, överkomligt pris (kvalitetskontrollerbar)
Beställningsinformation
Förfrågningar och beställningar bör innehålla följande information:
■ Diameter, höjd (som Φ100*40mm).
■ Trådstorlek (som M90*2mm).
■ Kvantitet.
■ Krav på renhet.